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연구성과

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재료공학부 김기범 교수팀,'나노 구멍' 이용 이온 트랜지스터 개발

2010.10.21

재료공학부 김기범 교수팀,‘나노 구멍’ 이용 이온 트랜지스터 개발

공과대학 김기범 교수 연구팀은 '나노포어 이온 트랜지스터' 소자를 개발했다. 나노포어는 머리카락의 1000분의 1 두께의 박막에 뚫은 구멍을 말한다.

연구팀은 반도체 제조에 쓰이는 질화규소로 100㎚(1나노미터는 10억분의 1m) 두께의 박막을 만든 뒤 1∼2㎚ 크기의 균일한 나노포어를 만들었다. 연구팀은 박막 안에 전극 역할을 하는 질화티타늄 막을 삽입해 나노포어 벽의 표면 전하를 전기적으로 조절할 수 있게 했다. 이에 따라 구멍을 통해 흐르는 이온의 흐름을 선택적으로 제어하는 이온 트랜지스터를 만들 수 있게 된 것이다.

김 교수는"이 연구로 나노포어 구조를 안정적으로 제작해 이온의 흐름을 전기적으로 제어할 수 있게 됐다"며"이온뿐 아니라 DNA 등 생체 분자의 운동을 전기적으로 제어하는 연구를 진행할 길이 열렸다"고 말했다.

김 교수의 연구 결과는 미국 화학회지 '나노 레터' 5월판에 게재됐다. 'NPG아시아매터리얼스' 7월판에는 하이라이트 연구 결과로 선정됐다.

2009. 9. 30
서울대학교 연구처